電子產品用高純石英砂SJ/T 3228.1-2016——第1部分：技術條件
中華人民共和國電子行業標準《電子產品用高純石英砂》第1部分——技術條件
標準編號：SJ/T 3228.1-2016
標準狀態：現行有效
本標準由中華人民共和國工業和信息化部2016年1月15日發布，2016年6月1是開始實施。
前言
本系列標準計劃分下列部分出版：
——SJ/T 3228.1 電子產品用高純石英砂 第1部分技術條件；
——SJ/T 3228.2 電子產品用高純石英砂 第2部分分析方法通則；
——SJ/T 3228.3 電子產品用高純石英砂 第3部分灼燒失量的測定；
——SJ/T 3228.4 電子產品用高純石英砂第4部分二氧化硅的測定；
——SJ/T 3228.5 電子產品用高純石英砂 第5部分鐵的測定；
——SJ/T 3228.6 電子產品用高純石英砂 第6部分銅的測定；
——SJ/T 3228.7 電子產品用高純石英砂 第7部分鉻的測定；
——SJ/T 3228.8 電子產品用高純石英砂 第8部分鋁的測定；
——SJ/T 3228.10 電子產品用高純石英砂第10部分鉛的測定。
本部分為第1部分。
本部分按照GB/T 1.1-2009 《標準化工作導則第1部分：標準的結構和編寫》給出的規則編寫。
本部分代替 SJ 3228.1-1989。
本部分與SJ 3228.1-1989相比，主要技術內容變化如下：
a) 增加了引用文件：GB/T 6682《分析實驗室用水規格和試驗方法》、GB/T 602《化學試劑雜質測定用標準溶液的準備》、SJ/T 10380-2012《工業用酸洗石英砂》、GB/T 32650《電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素》、GB/T 8946 《塑料編織袋》、GB/T 8947《復合塑料編織袋》；
b) 修改了產品分級，將原來的二個等級修改為三個等級；
c) 修改了粒度范圍；
d) 雜質含量要求中增加了元素鋁、鈣、鈉、鉀、鋰、鎂、鉻、鎳、硼、錳含量項目，刪除了鉛含量、氯含量、灼燒失重，并修改了原有雜質元素含量技術指標；
e) 增加了附錄A《石墨爐原子吸收光譜法測定雜質元素含量》；
f) 調整了檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存的相關要求。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。本部分由全國半導體設備和材料標準化技術委員會（SAC/TC 203）提出并歸口。本部分起草單位：工業和信息化部電子工業標準化研究院、國家硅材料深加工產品質量監督檢驗中心、東海縣產品質量監督檢驗所。
本部分主要起草人：李運強、程尚栩、許振午、欒振祥、薄雷明、李建德、馮亞彬、管琪。本部分所代替標準的歷次版本發布情況為：——SJ 3228.1-1989。
1 范圍
本部分規定了電子產品用高純石英砂的技術要求、檢驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存等。
本部分適用于電子產品用高純石英砂，可用于制造半導體石英器件的管、棒、塊、板、片以及坩堝等器件。
2 規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。
GB/T 8946 塑料編織袋
GB/T 8947 復合塑料編織袋
GB/T 32650 電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素
SJ/T 3328.4 電子產品用高純石英砂第4部分二氧化硅的測定
SJ/T 3328.5 電子產品用高純石英砂第5部分鐵的測定
SJ/T 3328.6 電子產品用高純石英砂第6部分銅的測定
SJ/T 3328.7 電子產品用高純石英砂第7部分鉻的測定
SJ/T 3328.8 電子產品用高純石英砂第8部分鋁的測定
SJ/T 3328.10 電子產品用高純石英砂第10部分鉛的測定
SJ/T 10380工業用酸洗石英砂
3 技術要求
3.1 外觀
電子產品用高純石英砂為具有一定透明度的白色顆粒，應無異色、肉眼可見的雜質。
3.2 二氧化硅含量
二氧化硅含量應符合表1規定。
表1 二氧化硅含量
| 項目 | 指標 | ||
| 一級 | 二級 | 三級 | |
| 二氧化硅 | ≥99.9991% | ≥99.9990% | ≥99.9980% |
3.3 粒度
粒徑應在70μm~350μm范圍內。
3.4 雜質元素含量
雜質元素含量應符合表2規定。
表2 雜質元素含量
| 雜質元素 | 允許含量 | ||
| 一級 | 二級 | 三級 | |
| 鋁（Al） | ≤8.00 | ≤8.00 | ≤16.00 |
| 鈣（Ca） | ≤0.50 | ≤0.60 | ≤0.80 |
| 鐵（Fe） | ≤0.15 | ≤0.30 | ≤0.30 |
| 鈉（Na） | ≤0.10 | ≤0.60 | ≤0.90 |
| 鉀（K） | ≤0.10 | ≤0.50 | ≤0.60 |
| 鋰（Li） | ≤0.30 | ≤0.50 | ≤0.90 |
| 鎂（Mg） | ≤0.50 | ≤0.10 | ≤0.20 |
| 鉻（Cr） | ≤0.50 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 鎳（Ni） | ≤0.50 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 硼（B） | ≤0.04 | ≤0.06 | ≤0.08 |
| 錳（Mn） | ≤0.05 | ≤0.05 | ≤0.05 |
| 銅（Cu） | ≤0.02 | ≤0.03 | ≤0.05 |
4 檢驗方法
4.1 外觀
光照度不低于300Lx，距離試樣0.5m處目視檢查電子工業用高純石英砂的外觀。
4.2 二氧化硅含量
二氧化硅含量按照SJ/T 3228.4的規定進行測定。
4.3 粒度
粒度按照SJ/T 10380的規定進行測定。
4.4 雜質元素含量
4.4.1 鐵元素含量的測定按照SJ/T 3228.5中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3228.5 中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.2 銅元素含量的測定按照SJ/T 3328.6 中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3328.6中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.3 鉻元素含量的測定按照SJ/T 3228.7中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3228.7中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.4 鋁元素含量的測定按照SJ/T 3228.8中石墨爐原子吸收光譜法或GB/T 32650《電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照SJ/T 3228.8中石墨爐原子吸收光譜法進行。
4.4.5 鈣、鈉、鉀、鋰、鎂、鎳、硼、錳元素含量的測定按照附錄A或GB/T 32650《電感耦合等離子質譜法檢測石英砂中痕量元素》進行，仲裁時按照附錄A進行。
5 檢驗規則
5.1 檢驗分類
電子工業用高純石英砂的檢驗分為型式檢驗和質量一致性檢驗。
5.2 型式檢驗
5.2.1 通則
出現下列情況之一時應進行型式檢驗：
a) 新產品或者產品轉廠生產的試制定型鑒定；
b) 正式生產后，如原材料、工藝或設備有較大改變、可能影響產品性能時；
c) 停產6個月以上恢復生產時；
d) 出廠檢驗結果與上次型式檢驗有較大差異時；
e) 國家質量監督機構提出進行型式檢驗要求時；
f) 有關部門或用戶提出進行型式檢驗的要求時。
5.2.2 檢驗樣本
型式檢驗的樣本在產品中隨機抽取。
5.2.3 檢驗項目
型式檢驗項目包括外觀、粒度、二氧化硅含量以及雜質元素含量。
5.2.4 合格判定
所有檢驗項目中若有一項檢驗結果不合格，則不予批準型式檢驗合格。
5.3 質量一致性檢驗筑
5.3.1 通則
質量一致性檢驗為逐批檢驗。
5.3.2 組批
以相同原料、相同工藝連續生產并一次提交的產品構成一個檢驗批，最大批量不超20000kg。
5.3.3 抽樣
每批產品應在總包裝單元的5%中抽樣，抽樣包裝單元數量應不小于10個，當批量小于10個包裝單元時應逐包抽樣。取樣適量，混勻充分，用四分法縮分，縮分再2kg，裝入潔凈容器內。經縮分的樣品，在100℃的干燥箱中干燥30min，置于磨口瓶中保存。
5.3.4 檢驗項目
質量一致性檢驗項目包括外觀、粒度、雜質元素含量。
5.4 合格判定
所有檢驗項目中，若有一項檢驗結果不合格，則判該批產晶不合格。不合格產品由供需雙方協商處理。
6 標志、包裝、運輸和貯存
6.1 標志
產品包裝上應有牢固清晰的標志，內容至少應包括：
a) 產品名稱；
b) 等級規格；
c) 凈質量；
d) 標準號；
e) 生產單位；
f) 廠址；
g) 生產日期；
h) 批號。
6.2 包裝
6.2.1 產品應密封包裝，封口應結實，防止污染。
6.2.2 應采用2層包裝，內層為塑料薄膜袋，外層為塑料編織袋，塑料編織袋應符合GB/T 8946、GB/T8947的規定。
6.2.3 若用戶對產品包裝有特殊要求，應由供需雙方協商解決。
6.3 運輸
產品運輸過程中，不應與污染物及其它易損物品混裝，不應有劇烈的振動或撞擊，應有防雨、防曬措施。
6.4 貯存
產品應在空氣流通、無粉塵的倉庫內儲存，防止曝曬、雨淋、污染、潮濕。
